🧬 Masque atomique

La lithographie EUV d’ASML 🇳🇱 grave les puces avec une lumière à 13,5 nanomètres. Le faisceau d’atomes d’hélium que Lace Lithography 🇳🇴 développe à Bergen mesure 0,1 nanomètre. Cent trente-cinq fois plus étroit. La promesse : continuer à miniaturiser les puces au-delà du plafond physique de l’EUV.

Aujourd’hui, chaque puce avancée fabriquée dans le monde passe par une machine d’ASML 🇳🇱, seule au monde sur ce segment. La génération Low-NA coûte 170M€ pièce, la nouvelle High-NA livrée chez Intel franchit 350M€. L’industrie sait depuis longtemps qu’il faudra autre chose après l’EUV. La question, c’est qui le construira, et où.

ASML 🇳🇱 a mis trente ans à bâtir l’EUV, avec des capex cumulés équivalents à ceux de TSMC, Intel et Samsung. Pendant deux décennies, le projet a semblé physiquement discutable, économiquement absurde, hors calendrier. Nikon et Canon y ont englouti des milliards avant d’abandonner. C’est à peu près ce qu’on dit aujourd’hui de Lace. Les ruptures industrielles majeures ressemblent presque toujours à des projets irréalistes pendant très longtemps.

Bodil Holst a co-fondé Lace en 2023 avec son ancien doctorant Adrià Salvador Palau, sur vingt ans de faisceaux atomiques à Bergen. Le verrou industriel restant n’était pas la physique mais les masques, dont la combinatoire rendait le calcul intractable. Lace l’a résolu avec un algorithme propriétaire qui accélère le traitement de quinze ordres de grandeur. Quinze. Cinquante personnes sur quatre sites européens, avec Imec 🇧🇪 comme partenaire industriel.

Les 34,5M€ de cette série A regroupent Atomico 🇬🇧 en lead, M12 (Microsoft), Linse Capital, Nysnø 🇳🇴 et la SETT 🇪🇸, aux côtés de Vsquared 🇩🇪, Future Ventures et Runa Capital déjà au capital. La présence de Nysnø vaut explication : ce véhicule public climatique norvégien, 460M€ à mandat décennal alimenté par la conversion de la rente pétrolière, entre au capital parce que la lithographie atomique consomme une fraction de l’énergie d’une EUV. Argent du fossile, transition par la science dure.

Avec ce capital, Lace vise un outil en fab pilote pour 2029, sur 52M€ levés au total. Croire à la physique, ça tient. Croire au calendrier sur ce budget, c’est un acte de foi. La deeptech européenne a capté 17,5G€ en 2025, record absolu, mais les tours tardifs continuent de quitter le continent. La prochaine levée tranchera. Si l’argent patient européen est au rendez-vous, on aura le successeur d’ASML. Sinon, il aura un siège californien.

Vanessa Proust, One Green

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